aberratio - уклонение, уда 13513f519n ление) электронно-оптических систем, искажения изображений, формируемых в электрич. или (и) магн. полях разл. электронно-оптических систем. В рамках геометрич. электронной оптики А. определяются как нарушения точечного соответствия между предметом и его изображением, обусловленные неидеальной фокусировкой электронных пучков. В осесимметричных полях такое точечное соответствие может наблюдаться только в параксиальных (приосевых) пучках. Однако даже в этой области в реальных электронно-оптич. системах возникают А., из к-рых наиболее существенны хроматич. А. и осевой астигматизм.
А. обусловлена разбросом начальных скоростей эл-нов в плоскости предмета (немонохроматичностью электронного пучка). Вследствие хроматич. А. в плоскости изображения вместо точки получается пятно (кружок хроматич. рассеяния), форма к-рого зависит от положения точки в плоскости предмета (её уда 13513f519n ления от оси; рис. 1). Хроматич. А. корректируются с помощью неосесимметричных (т. н. квадруполыных) линз, обладающих как рассеивающим, так и собирающим действием. Осевой астигматизм (А. 1-го порядка) связан с нарушением осевой симметрии электрич. и магн. полей. Вследствие осевого астигматизма для точки, находящейся на оси системы, на изображении получаются два взаимно перпендикулярных отрезка, расположенных в двух разных сечениях пучка (сагиттальном и меридиональном); изображения в др. сечениях имеют форму эллипса (рис. 2). Осевой астигматизм может быть исправлен дополнит, неосесимметричными линзами-стигматорами, действие к-рых обратно действию возмущающего поля в корректируемой линзе. В непараксиальных пучках геометрич.
хотя это приводит к уменьшению яркости изображения.
И. И. Голеницкий, В. Т. Овчаров.
|
