Microsenzori de presiune

Fig. 7

Orice modificare a vitezei sistemului, pe directia de oscilatie a masei m va induce o forta de inertie

F = m.a , forta care va scoate din echilibru masa m.

Sesizarea fortei de inertie poate fi facuta prin diverse procedee:

Fig. 8

Metoda piezorezistivitatii presupune utilizarea unor traductori piezorezistivi n zona solicitata mecanic a elementului elastic.

Metoda capacitiva presupune utilizarea a doua capacitati ( C1 si C2 n fig. 8) astfel nc t miscarea de vibratie a masei inertiale sa modifice diferential cele 2 capacitati, n timp ce distanta d₁ dintre placile condensatorului C1 se micsoreaza, distanta d₂ dintre placile condensatorului C2 se mareste ca n fig. 9.

Fig. 9

Un microsenzor de acceleratie realizat de firma Bosch - Germania si care utilizeaza metoda capacitiva este prezentat n fig. 10.

Fig. 10

Masa seismica centrala este rezemata la capete pe lamele elastice iar n zona centrala se realizeaza cei doi condensatori C1 si C2. Intreaga structura este realizata prin tehnologia de prelucrare a placutelor de siliciu, cu depuneri si corodari adecvate formei finale impuse.

Pentru cresterea sensibilitatii se poate utiliza un numar sporit de condensatoare, realizate pe acelasi principiu. De asemenea, asezarea condensatoarelor pe doua directii permite detectarea acceleratiei pe doua directii, asa cum este prezentat microsenzorul de acceleratie bidirectional din fig. 11.

Fig. 11