TEHNOLOGIE DE FABRICATIE PENTRU MEMS

PolyMUMPs

Tehnologia PolyMUMPs    reprezinta o tehnologie de microfabricatie ce se caracterizeaza prin realizarea unor micros 12412c216m tructuri de tip MEMS cu multiple straturi de depunere dintre care trei sunt straturi de siliciu policristalin.

Se exemplifica aceasta tehnologie pentru realizarea unui micromotor electrostatic prezentat schematic n fig. 1.1

Fig. 1.1

Succesiunea operatiilor de depunere, de formare a structurilor geometrice prin litografiere si de ndepartare a straturilor de sacrificiu este prezentata n fig. 1.2 - 1.16